क्षैतिज मैग्नेट्रॉन स्पटरिंग कोटिंग लाइन

क्षैतिज मैग्नेट्रॉन स्पटरिंग कोटिंग उत्पादन लाइन एक महत्वपूर्ण भौतिक वाष्प बयान उपकरण विन्यास है।

इसकी मुख्य विशेषता यह है कि कोटिंग प्रक्रिया के दौरान सब्सट्रेट (वर्कपीस) को क्षैतिज रूप से रखा जाता है।

यह लेआउट अद्वितीय विशेषताओं और अनुप्रयोग लाभ लाता है, जिससे यह विशिष्ट क्षेत्रों में अपूरणीय है।

कांच, सिरेमिक और फ्लैट उत्पादों की सतह पर बहु-परत समग्र फिल्मों का जमाव;

क्षैतिज सब्सट्रेट प्लेसमेंट

यह मुख्य सुविधा है। सब्सट्रेट (जैसे ग्लास प्लेट, सिलिकॉन वेफर, मेटल प्लेट, प्लास्टिक शीट, आदि) को एक वाहक (जैसे कि ट्रे, फ्रेम) पर क्षैतिज रूप से रखा जाता है, या एक कन्वेयर तंत्र द्वारा कोटिंग क्षेत्र के माध्यम से क्षैतिज रूप से ले जाया जाता है।

निरंतर उत्पादन

निरंतर या इन-लाइन उत्पादन को डिजाइन करने के लिए क्षैतिज रेखाएं बहुत उपयुक्त हैं।

सब्सट्रेट को क्रमिक रूप से लोड किया जा सकता है, कोटिंग के लिए स्पटरिंग चैंबर में भेजा जा सकता है, और फिर बाहर भेजा और अनलोड किया गया, कुशल बड़े पैमाने पर विधानसभा लाइन संचालन प्राप्त किया।

स्वचालन को एकीकृत करने के लिए आसान

अत्यधिक स्वचालित उत्पादन प्राप्त करने के लिए स्वचालित लोडिंग/अनलोडिंग रोबोट (जैसे रोलर्स, चेन कन्वेयर, रोबोट), ऑनलाइन डिटेक्शन उपकरण आदि को एकीकृत करने के लिए क्षैतिज प्लेसमेंट और रैखिक लेआउट बहुत सुविधाजनक हैं।

फ्लैट सबस्ट्रेट्स के लिए

फ्लैट या थोड़ा घुमावदार सब्सट्रेट (जैसे कि आर्किटेक्चरल ग्लास, फोटोवोल्टिक ग्लास, फ्लैट पैनल डिस्प्ले सबस्ट्रेट्स, लचीले रोल) को संसाधित करने में विशेष रूप से अच्छा है।

गुरुत्वाकर्षण का छोटा प्रभाव

क्षैतिज प्लेसमेंट सब्सट्रेट सतह के लिए गुरुत्वाकर्षण की दिशा बनाता है।

स्पटरिंग प्रक्रिया के दौरान उत्पन्न होने वाले कणों के लिए, फिल्म परत की एकरूपता पर गुरुत्वाकर्षण अवसादन का प्रभाव अपेक्षाकृत छोटा है (ऊर्ध्वाधर प्रकार की तुलना में)।

सुविधाजनक संचालन और रखरखाव

प्रमुख उपकरण और घटक आमतौर पर ऊंचाइयों पर स्थित होते हैं जो ऑपरेटरों के लिए आसानी से सुलभ होते हैं, जिससे दैनिक संचालन, निगरानी और रखरखाव सुविधाजनक होता है।

अत्यधिक उच्च उत्पादन दक्षता और क्षमता
निरंतर उत्पादन:

यह क्षैतिज रेखा का सबसे बड़ा लाभ है। सब्सट्रेट लगातार इनपुट और आउटपुट हो सकता है, और स्पटरिंग प्रक्रिया सब्सट्रेट के निरंतर या चरण-दर-चरण आंदोलन के दौरान पूरी होती है, जो विशेष रूप से बड़े पैमाने पर, एकल या सीमित विविधता उत्पादन की जरूरतों के लिए उपयुक्त है।

उत्कृष्ट बड़े क्षेत्र कोटिंग एकरूपता
फ्लैट सब्सट्रेट (विशेष रूप से आयताकार कांच की प्लेटों) के लिए, लक्ष्य लेआउट, चुंबकीय क्षेत्र वितरण, सब्सट्रेट स्थानांतरण गति और लक्ष्य-सब्सट्रेट दूरी को ध्यान से डिजाइन करके एक बड़े क्षेत्र में बहुत उच्च फिल्म मोटाई एकरूपता प्राप्त की जा सकती है।

उत्कृष्ट प्रक्रिया स्थिरता और पुनरावृत्ति
अत्यधिक स्वचालित और निरंतर प्रक्रियाएं मानव हस्तक्षेप और परिचालन त्रुटियों को कम करती हैं

स्थिर संदेश गति और सटीक प्रक्रिया पैरामीटर नियंत्रण (गैस दबाव, बिजली, गैस प्रवाह) बैचों और लंबे समय तक प्रक्रिया स्थिरता सुनिश्चित करता है।

उत्कृष्ट सब्सट्रेट संगतता और लचीलापन
विविध सामग्री: ग्लास, मेटल शीट, सिलिकॉन वेफर्स, सेरामिक्स और विशिष्ट प्लास्टिक जैसे विभिन्न प्रकार के फ्लैट सब्सट्रेट के लिए उपयुक्त।

बहुपरत फिल्म बयान प्राप्त करने के लिए आसान
कॉन्विंग पथ पर अनुक्रम में विभिन्न सामग्रियों के स्पटरिंग लक्ष्यों की व्यवस्था करके और अनुक्रम में इन लक्ष्य पदों के माध्यम से सब्सट्रेट को पारित करके, कई सामग्रियों की पतली फिल्मों को एक जटिल बहु-परत फिल्म प्रणाली (जैसे कि कम-ई ग्लास की चांदी-आधारित बहु-परत फिल्म) बनाने के लिए एक संदेश में लगातार जमा किया जा सकता है।