मैग्नेट्रॉन स्पटरिंग कोटिंग लाइन

वैक्यूम कोटिंग उत्पादन लाइन एक उच्च विशिष्ट विनिर्माण प्रणाली है, जो मुख्य रूप से सब्सट्रेट (जैसे कांच, प्लास्टिक, धातु, सिरेमिक, अर्धचालक वेफर, आदि) की सतह पर अत्यंत पतली कार्यात्मक फिल्मों की एक या अधिक परतों को जमा करने के लिए उपयोग की जाती है।

इसका मूल उच्च वैक्यूम वातावरण में विभिन्न भौतिक तरीकों के माध्यम से कोटिंग सामग्री को वाष्पीकृत या आयनित करना है, और फिर इसे सब्सट्रेट की सतह पर एक फिल्म में संघनित करना है।

विद्युत घटक सिरेमिक और सर्किट बोर्ड सिरेमिक की सतह पर तांबे, चांदी और अन्य प्रवाहकीय सामग्रियों की वैक्यूम कोटिंग।

 

यह अन्य प्लेट-जैसे वर्कपीस (ग्लास, ऐक्रेलिक बोर्ड, आदि) की सतह पर विभिन्न धातु फिल्म परतों के वैक्यूम बयान के लिए भी उपयुक्त है;

चुंबकीय क्षेत्र प्लाज्मा को सीमित करता है

यह मैग्नेट्रॉन स्पटरिंग की मुख्य विशेषता है। लक्ष्य सतह के पास एक विशिष्ट आकार (आमतौर पर एक अंगूठी या रेसट्रैक आकार) के एक मजबूत चुंबकीय क्षेत्र को लागू करके, इलेक्ट्रॉनों को सर्पिल गति बनाने के लिए लक्ष्य सतह के पास सीमित किया जाता है, जो काम करने वाली गैस (आमतौर पर आर्गन) परमाणुओं के साथ इलेक्ट्रॉनों के टकराव और आयनीकरण की संभावना को बहुत बढ़ाता है।

उच्च आयनीकरण दर और उच्च बयान दर

चुंबकीय क्षेत्र के कारावास में प्लाज्मा घनत्व और आयनीकरण दर में काफी वृद्धि होती है, जिससे स्पटरिंग प्रक्रिया अधिक कुशल हो जाती है।

इसका मतलब यह है कि अपेक्षाकृत कम गैस के दबाव और कम स्पटरिंग वोल्टेज/पावर में, पारंपरिक डीसी स्पटरिंग की तुलना में बहुत अधिक स्पटरिंग और बयान दर प्राप्त की जा सकती है।

कम तापमान प्रक्रिया

चूंकि अधिकांश ऊर्जा का उपयोग गैस और स्पटर लक्ष्य परमाणुओं को आयनित करने के लिए किया जाता है, इसलिए अपेक्षाकृत कम गर्मी सब्सट्रेट में स्थानांतरित की जाती है।

अच्छी फिल्म की गुणवत्ता

अच्छा घनत्व, मजबूत आसंजन, उच्च पवित्रता और अच्छी एकरूपता।

सामग्री अनुकूलनशीलता की विस्तृत श्रृंखला

अच्छी प्रक्रिया नियंत्रणीयता

मैग्नेट्रॉन स्पटरिंग कोटिंग प्रोडक्शन लाइन कार्यात्मक पतली फिल्मों (जैसे कि ऑप्टिकल फिल्मों, प्रवाहकीय फिल्मों, पहनने वाली प्रतिरोधी हार्ड फिल्म्स, सजावटी फिल्में, सजावटी फिल्में, विरोधी-कोरियन फिल्में, चुंबकीय फिल्में, अर्धचालक फिल्मों, आदि के लिए मुख्य विशेषताओं और संपूर्ण रूपरेखा को कम करने के लिए मुख्यधारा की तकनीक में से एक बन गई है। अनुकूलनशीलता, अच्छी एकरूपता और नियंत्रणीयता। इसमें माइक्रोइलेक्ट्रॉनिक्स, फ्लैट पैनल डिस्प्ले, सौर कोशिकाओं, टूल कोटिंग्स, ऑटोमोटिव पार्ट्स, पैकेजिंग, सजावट, ऑप्टिकल डिवाइस और अन्य क्षेत्रों में बेहद व्यापक अनुप्रयोग हैं।