1। वैक्यूम कोटिंग मशीन की बुनियादी संरचना
वैक्यूम कोटिंग मशीन एक ऐसा उपकरण है जो वैक्यूम वातावरण के तहत भौतिक या रासायनिक तरीकों से सब्सट्रेट की सतह पर पतली फिल्म जमा करता है। इसकी मुख्य संरचना में निम्नलिखित भाग शामिल हैं:
1। वैक्यूम सिस्टम: यह मैकेनिकल पंप, आणविक पंप, डिफ्यूजन पंप, आदि से बना है, जिसका उपयोग कोटिंग चैंबर को 10 ~ ~ 10⁻⁶ पीए के उच्च वैक्यूम वातावरण में पंप करने के लिए किया जाता है ("वैक्यूम कोटिंग टेक्नोलॉजी मैनुअल" देखें)। उदाहरण के लिए, मैकेनिकल पंप दबाव को 1 ~ 10 पीए तक कम कर सकता है, और आणविक पंप इसे 10⁻⁴ पीए से नीचे कम कर सकता है।
2। कोटिंग चैंबर: मुख्य शरीर एक स्टेनलेस स्टील गुहा है, जो संक्षारण प्रतिरोधी है और इसमें मजबूत सीलिंग है। आकार छोटे प्रयोगशालाओं के लिए 0.5 m ress से 5 m to से औद्योगिक ग्रेड (जैसे ULVAC का ARL-300 मॉडल) के लिए होता है।
3। वाष्पीकरण स्रोत: प्रक्रिया आवश्यकताओं के अनुसार प्रतिरोध हीटिंग, इलेक्ट्रॉन बीम या मैग्नेट्रॉन स्पटरिंग स्रोत का चयन करें। उदाहरण के लिए, इलेक्ट्रॉन बीम वाष्पीकरण स्रोत की शक्ति 10 किलोवाट तक पहुंच सकती है, और वाष्पीकरण दर लगभग 1 ~ 5 एनएम/एस है।
2। विभिन्न प्रकार की कोटिंग मशीनों की संरचना में अंतर
1। भौतिक वाष्प जमाव (पीवीडी) उपकरण:
- मैग्नेट्रॉन स्पटरिंग कोटिंग मशीनों को लक्ष्य सामग्री (जैसे टाइटेनियम लक्ष्य, एल्यूमीनियम लक्ष्य) और चुंबकीय क्षेत्र प्रणालियों से सुसज्जित करने की आवश्यकता है, और काम करने वाला गैस दबाव आमतौर पर 0.1 ~ 10 पीए है।
- आर्क आयन कोटिंग मशीनें आर्क स्रोतों को जोड़ती हैं, वर्तमान 100 ~ 200 ए तक पहुंच सकती है, और फिल्म आसंजन मजबूत है।
2। रासायनिक वाष्प जमाव (सीवीडी) उपकरण:
- प्रतिक्रियाशील गैसों (जैसे कि SIH₄, CH,) को पेश करने की आवश्यकता है, और एक गैस प्रवाह नियंत्रण प्रणाली सुसज्जित है, ± 1 SCCM (मानक मिलीलीटर/मिनट) की सटीकता के साथ।
3। सहायक प्रणाली और प्रमुख तकनीकी पैरामीटर
1। नियंत्रण प्रणाली: पीएलसी या औद्योगिक कंप्यूटर का उपयोग वैक्यूम, तापमान (± 1 डिग्री सटीकता), और फिल्म की मोटाई (क्वार्ट्ज क्रिस्टल दोलन विधि द्वारा मापा गया, सटीकता ± 0.1 एनएम) वास्तविक समय में मॉनिटर करने के लिए किया जाता है।
2। कूलिंग सिस्टम: पानी कूलिंग पाइपलाइन की डिजाइन प्रवाह दर आमतौर पर उपकरणों की दीर्घकालिक संचालन स्थिरता सुनिश्चित करने के लिए 20 ~ 50 एल/मिनट होती है।
Iv। अनुप्रयोग परिदृश्य और चयन सिफारिशें
1। ऑप्टिकल कोटिंग: उच्च एकरूपता (es 1% मोटाई विचलन) की आवश्यकता होती है, और एक बहु-क्रूसिबल इलेक्ट्रॉन बीम वाष्पीकरण स्रोत का चयन करने की आवश्यकता होती है।
2। टूल कोटिंग: कठोरता पर ध्यान केंद्रित करता है (जैसे कि टिन कोटिंग 2000 एचवी तक पहुंच सकती है), और आर्क आयन चढ़ाना उपकरण पसंद किया जाता है।
उपरोक्त विश्लेषण के माध्यम से, उपयोगकर्ता वास्तविक आवश्यकताओं (जैसे फिल्म प्रदर्शन, उत्पादन दक्षता) के अनुसार मिलान कोटिंग मशीन प्रकार और कॉन्फ़िगरेशन चुन सकते हैं।
