1। पूर्व-उपचार
- सब्सट्रेट क्लीनिंग: अल्ट्रासोनिक डिग्रेडिंग + प्लाज्मा क्लीनिंग (पावर 50-200W)।
- क्लैम्पिंग और पोजिशनिंग: सुनिश्चित करें कि सब्सट्रेट और वाष्पीकरण स्रोत के बीच की दूरी 20-50 सेमी (फिल्म मोटाई की एकरूपता को प्रभावित करती है) है।
2। कोटिंग चरण
-प्री-सिपाही: लक्ष्य की सतह पर ऑक्साइड को हटाने के लिए आर्गन गैस (प्रवाह दर 10-50sccm) का परिचय दें।
- मुख्य बयान:
-वाष्पीकरण कोटिंग: दर 0.1-10nm/s (इलेक्ट्रॉन बीम पावर 5-20kW)।
-मैग्नेट्रॉन स्पटरिंग: डिपॉजिट रेट 0.01-1μM/मिनट (गैस प्रेशर 0.1-1PA)।
3। उपचार के बाद
-फिल्म आसंजन में सुधार करने के लिए (200-400 डिग्री, 1-2 घंटे) को मजबूत करना और मजबूत करना (5N से अधिक या उसके बराबर खरोंच परीक्षण)।
