वर्तमान में वैक्यूम कोटिंग मशीनों में पतली फिल्मों की निगरानी के लिए कई तरीके हैं, जिनमें मुख्य रूप से शामिल हैं: दृश्य निगरानी, निश्चित (चरम) मूल्य निगरानी, क्रिस्टल दोलन निगरानी और समय निगरानी। यह लेख मुख्य रूप से तीन तरीकों का परिचय देगा: दृश्य निगरानी, निश्चित (चरम) मूल्य निगरानी, और क्रिस्टल दोलन निगरानी। दृश्य निगरानी, जिसे प्रत्यक्ष निगरानी के रूप में भी जाना जाता है, फिल्म की निगरानी के लिए आंखों का उपयोग करती है। फिल्म विकास प्रक्रिया के दौरान, हस्तक्षेप घटना के कारण रंग में परिवर्तन होता है, और हम इन रंग परिवर्तनों के आधार पर फिल्म की मोटाई को नियंत्रित करते हैं। इस पद्धति में कुछ हद तक त्रुटि है और यह बहुत सटीक नहीं है, इसके लिए अनुभव की आवश्यकता होती है।
निश्चित-मूल्य (अत्यधिक-मूल्य) निगरानी: यह मुख्य रूप से परावर्तक (ट्रांसमिसिव) ऑप्टिकल निगरानी को नियोजित करता है। चरम -मूल्य निगरानी विधि: जैसे-जैसे फिल्म की मोटाई बढ़ती है, इसकी परावर्तनशीलता और संप्रेषण तदनुसार बदल जाता है। जब परावर्तन या संप्रेषण एक चरम बिंदु पर पहुंच जाता है, तो कोटिंग की ऑप्टिकल मोटाई एनडी को मॉनिटरिंग तरंग दैर्ध्य (λ) के एक चौथाई के पूर्णांक गुणक के रूप में निर्धारित किया जा सकता है। हालाँकि, चरम मूल्य विधि में अपेक्षाकृत बड़ी त्रुटि होती है क्योंकि चरम मूल्य के पास परावर्तन या संप्रेषण बहुत धीरे-धीरे बदलता है; अर्थात्, आर/टी केवल फिल्म की मोटाई एनडी में उल्लेखनीय वृद्धि के बाद ही बदलती है। सबसे संवेदनशील स्थिति तरंग दैर्ध्य के एक -आठवें हिस्से पर होती है। निश्चित मूल्य निगरानी विधि: यह विधि इस तथ्य का उपयोग करती है कि कोटिंग का रोक बिंदु निगरानी तरंग दैर्ध्य के एक चौथाई पर नहीं है। फिर, कंप्यूटर तरंग दैर्ध्य 1 पर कुल फिल्म मोटाई की परावर्तनशीलता (या संप्रेषण) की गणना करता है, जो कोटिंग का रोक बिंदु है। क्रिस्टल दोलन निगरानी: क्रिस्टल दोलन का कार्य सिद्धांत इस सिद्धांत पर आधारित है कि क्वार्ट्ज क्रिस्टल की कंपन आवृत्ति उसके द्रव्यमान के व्युत्क्रमानुपाती होती है। हालाँकि, क्वार्ट्ज मॉनिटरिंग का एक दोष यह है कि जब फिल्म की मोटाई एक निश्चित स्तर तक बढ़ जाती है, तो क्वार्ट्ज के गुणों के कारण कंपन आवृत्ति पूरी तरह से रैखिक रूप से मोटाई से संबंधित नहीं होती है। इस मामले में, एक नए क्वार्ट्ज ऑसिलेटर का उपयोग किया जाना चाहिए।
कई निगरानी विधियों के अपने फायदे और नुकसान हैं, लेकिन बहु-परत कोटिंग्स के लिए, ऑप्टिकल निगरानी आमतौर पर प्राथमिक विधि है, जो क्वार्ट्ज क्रिस्टल दोलन द्वारा पूरक है। इसके अलावा, कोटिंग के दौरान गैस इंजेक्शन की आवश्यकता वाली कुछ प्रक्रियाओं के लिए, प्रवाह मीटर या दबाव गेज की आवश्यकता होती है, जिन्हें नियंत्रण के लिए सटीक वाल्व और फोटोइलेक्ट्रिक सेंसिंग सिस्टम की आवश्यकता होती है। वैक्यूम कोटिंग मशीनों को भी एक रोटेशन नियंत्रण प्रणाली की आवश्यकता होती है, जहां छतरी का मुख्य शाफ्ट एक बीयरिंग के अंदर रखा जाता है, और एक मोटर छतरी को घुमाने के लिए बीयरिंग को चलाती है। फिर घूर्णन गति को पीएलसी द्वारा नियंत्रित किया जाता है। क्रूसिबल रोटेशन एक मोटर द्वारा संचालित होता है और फोटोइलेक्ट्रिक इंडक्शन काउंटिंग का उपयोग करता है, जबकि परिरक्षण प्लेट एक वायवीय स्विच का उपयोग करके घूमती है। पंपिंग दर में तेजी लाने और एक निश्चित वैक्यूम स्तर प्राप्त करने के लिए, वैक्यूम चैम्बर को ठंडा करने की आवश्यकता होती है, अंदर की हवा को -130 डिग्री सेल्सियस तक जमा देना और किसी भी जल वाष्प को जमा देना और निकालना। विद्युत नियंत्रण अनुभाग मुख्य रूप से पीएलसी स्वचालित नियंत्रण को अपनाता है। पूर्व-डिज़ाइन किया गया प्रोग्राम पहले पीएलसी में इनपुट होता है, और प्रोसेसर का मुख्य सर्किट ऑपरेशन पैनल पर प्रत्येक नो-लोड सिस्टम से जुड़ा होता है। जब ऑपरेशन पैनल पर स्विच दबाया जाता है, तो सूचना केंद्रीय प्रोसेसर को प्रेषित होती है, और फिर केंद्रीय नियंत्रण प्रणाली विश्लेषण करती है और कार्रवाई को निष्पादित करने और पूरा करने के लिए शाखा सर्किट को निर्देश जारी करती है।
वैक्यूम कोटिंग मशीनें कई विषयों को एकीकृत करने वाली डिवाइस हैं। इनमें सबसे उन्नत इलेक्ट्रोमैकेनिकल प्रौद्योगिकियां, नियंत्रण प्रौद्योगिकियां, विद्युत स्वचालन, आईटी प्रौद्योगिकियां, प्रशीतन प्रौद्योगिकियां, माइक्रोसर्किट एकीकृत सिस्टम, उच्च वोल्टेज नियंत्रण प्रणाली, यांत्रिक प्रौद्योगिकियां, प्रसंस्करण प्रौद्योगिकियां, ऑप्टोइलेक्ट्रॉनिक प्रौद्योगिकियां, ऑप्टिकल प्रौद्योगिकियां, वायवीय नियंत्रण प्रौद्योगिकियां, ऑप्टोइलेक्ट्रॉनिक सेंसिंग प्रौद्योगिकियां, संचार प्रौद्योगिकियां, वैक्यूम प्रौद्योगिकियां, पतली फिल्म ऑप्टिक्स और कोटिंग प्रौद्योगिकियां और बहुत कुछ शामिल हैं। वैक्यूम कोटिंग मशीनों को उभरते उद्योगों का प्रतिनिधि माना जा सकता है। आज, वैक्यूम कोटिंग मशीनों का व्यापक रूप से उपयोग किया जाता है, खासकर पतली फिल्मों के उत्पादन में। उत्पादित विभिन्न पतली फिल्मों का उपयोग विभिन्न ऑप्टोइलेक्ट्रॉनिक सिस्टम और ऑप्टिकल उपकरणों में किया जाता है, जैसे डिजिटल कैमरा, डिजिटल कैमकोर्डर, टेलीस्कोप, प्रोजेक्टर, ऊर्जा नियंत्रण, ऑप्टिकल संचार, डिस्प्ले तकनीक, इंटरफेरोमीटर, कृत्रिम उपग्रह और मिसाइल, सेमीकंडक्टर लेजर, माइक्रोइलेक्ट्रोमैकेनिकल सिस्टम, सूचना उद्योग, लेजर विनिर्माण, विभिन्न फिल्टर, प्रकाश उद्योग, सेंसर, आर्किटेक्चरल ग्लास, ऑटोमोटिव उद्योग, सजावटी सामान, सिक्के, चश्मा लेंस, और बहुत कुछ। कोटिंग मशीनें मानव जीवन में घनिष्ठ रूप से एकीकृत हो गई हैं।
