वैक्यूम कोटिंग मशीनों की कोटिंग प्रक्रिया में कई सामान्य आयन स्रोत

वर्कपीस के आसंजन, संबंध बल और फिल्म संरचना में सुधार करने के लिए, कई वैक्यूम कोटिंग मशीनें कोटिंग प्रक्रिया के दौरान आयन स्रोतों से सुसज्जित हैं।
यद्यपि कई प्रकार के आयन स्रोत हैं, उनका उद्देश्य ऑनलाइन सफाई से ज्यादा कुछ नहीं है, प्रतिक्रिया गैस की ऊर्जा को बढ़ाने के लिए प्लेटेड सतह के ऊर्जा वितरण और मॉड्यूलेशन में सुधार करना। आयन स्रोत फिल्म और सब्सट्रेट के बीच संबंध शक्ति में बहुत सुधार कर सकता है, और फिल्म की कठोरता और पहनने के प्रतिरोध को भी बेहतर बना सकता है। यदि इलेक्ट्रोप्लेटिंग टूल की पहनने-प्रतिरोधी परत आम तौर पर मोटी होती है और फिल्म मोटाई की एकरूपता अधिक नहीं होती है, तो एक बड़े आयन वर्तमान और एक उच्च ऊर्जा स्तर के साथ एक आयन स्रोत, जैसे कि हॉल आयन स्रोत या एनोड आयन स्रोत का उपयोग किया जा सकता है।
एनोड लेयर आयन स्रोत का सिद्धांत हॉल आयन स्रोत के समान है। एक कुंडलाकार (आयताकार या गोलाकार) संकीर्ण स्लिट को एक बढ़ाया चुंबकीय क्षेत्र के साथ जोड़ा जाता है, और काम करने वाली गैस को आयनित किया जाता है और एनोड की कार्रवाई के तहत वर्कपीस में उत्सर्जित किया जाता है। एनोड लेयर आयन स्रोत को बहुत बड़ा और लंबा बनाया जा सकता है, जो विशेष रूप से बड़े हिस्सों जैसे कि वास्तुशिल्प ग्लास के इलेक्ट्रोप्लेटिंग के लिए उपयुक्त है। एनोड परत आयन स्रोत का आयन वर्तमान भी बड़ा है। हालांकि, आयन प्रवाह अलग -अलग है और ऊर्जा स्तर का वितरण बहुत व्यापक है। यह आम तौर पर बड़े वर्कपीस, ग्लास, पहनने के प्रतिरोधी और सजावटी वर्कपीस के लिए उपयुक्त है। लेकिन उन्नत ऑप्टिकल कोटिंग्स में कई अनुप्रयोग नहीं हैं।
यह वैक्यूम कोटर एक हॉल आयन स्रोत से सुसज्जित है, जहां एनोड और मजबूत अक्षीय चुंबकीय क्षेत्र प्रक्रिया गैस को आयनित करने के लिए एक साथ काम करते हैं। अक्षीय चुंबकीय क्षेत्र का मजबूत असंतुलन आयन बीम बनाने के लिए गैस आयनों को अलग करता है। क्योंकि अक्षीय चुंबकीय क्षेत्र बहुत मजबूत है, हॉल आयन स्रोत आयन बीम को आयन प्रवाह को बेअसर करने के लिए इलेक्ट्रॉनों के साथ पूरक करने की आवश्यकता है। एक सामान्य तटस्थ स्रोत एक टंगस्टन फिलामेंट (कैथोड) है।