वैक्यूम कोटिंग मशीनमुख्य रूप से एक प्रकार की कोटिंग को संदर्भित करता है जिसे अपेक्षाकृत उच्च स्तर के वैक्यूम के तहत निष्पादित करने की आवश्यकता होती है, जिसमें कई प्रकार शामिल हैं, जिनमें वैक्यूम आयन वाष्पीकरण, मैग्नेट्रोन स्पटरिंग, एमबीई आणविक बीम एपिटैक्सी, पीएलडी लेजर स्पटरिंग जमाव आदि शामिल हैं। मुख्य विचार इसे दो प्रकारों में विभाजित करना है: वाष्पीकरण और स्पटरिंग।
ग्रेडिएंट रंग प्रक्रिया आम तौर पर मैग्नेट्रोन स्पटरिंग कोटिंग उपकरण का उपयोग करती है। वर्तमान में, हुआवेई और लेनोवो जैसे कई मोबाइल फोन मॉडलों के ग्रेडिएंट कलर केसिंग पीवीडी वैक्यूम ग्रेडिएंट कोटिंग प्रक्रिया का उपयोग करते हैं।
मैग्नेट्रॉन स्पटरिंग एक प्रकार का भौतिक वाष्प जमाव (भौतिक वाष्प जमाव, पीवीडी) है। सामान्य स्पटरिंग विधि का उपयोग धातु, अर्धचालक, इन्सुलेटर और अन्य सामग्री तैयार करने के लिए किया जा सकता है, और इसमें सरल उपकरण, आसान नियंत्रण, बड़े कोटिंग क्षेत्र और मजबूत आसंजन के फायदे हैं।
1970 के दशक में विकसित मैग्नेट्रोन स्पटरिंग विधि ने उच्च गति, कम तापमान और कम क्षति हासिल की है। चूँकि उच्च गति स्पटरिंग कम दबाव में की जाती है, इसलिए गैस आयनीकरण दर को प्रभावी ढंग से बढ़ाया जाना चाहिए। मैग्नेट्रॉन स्पटरिंग लक्ष्य कैथोड की सतह पर एक चुंबकीय क्षेत्र का परिचय देता है और स्पटरिंग दर को बढ़ाने के लिए प्लाज्मा घनत्व को बढ़ाने के लिए चार्ज कणों को बाधित करने के लिए चुंबकीय क्षेत्र का उपयोग करता है।
मैग्नेट्रॉन स्पटरिंग वैक्यूम कोटिंग मशीन वैक्यूम स्थितियों के तहत मौजूदा उत्पादों को कोटिंग करने के लिए सबसे अधिक इस्तेमाल किया जाने वाला उपकरण है। एक पूर्ण मैग्नेट्रोन स्पटरिंग वैक्यूम कोटिंग मशीन सिस्टम के कई हिस्सों से बनी होती है। अंतिम उच्च गुणवत्ता वाली कोटिंग प्राप्त करने के लिए प्रत्येक सिस्टम अलग-अलग कार्य पूरा कर सकता है। मैग्नेट्रोन स्पटरिंग कोटिंग के घटकों में वैक्यूम चैम्बर, मैकेनिकल पंप, वैक्यूम टेस्ट सिस्टम, तेल प्रसार पंप, वैक्यूम सिस्टम, संक्षेपण पंप, फिल्म निर्माण नियंत्रण प्रणाली आदि शामिल हैं।
मैग्नेट्रोन स्पटरिंग वैक्यूम कोटिंग मशीन का मुख्य भाग वैक्यूम चैम्बर है। निर्वात कक्ष का आकार प्रसंस्कृत उत्पादों द्वारा निर्धारित किया जाता है। मैग्नेट्रोन स्पटरिंग कोटिंग का आकार अनुकूलित किया जा सकता है। चैम्बर आम तौर पर स्टेनलेस स्टील से बना होता है और इसका मजबूत, टिकाऊ और जंग रहित होना आवश्यक है। मैग्नेट्रोन स्पटरिंग कोटिंग वैक्यूम चैम्बर में विभिन्न सहायक पंपों को जोड़ने के लिए कई कनेक्टिंग वाल्व होते हैं।
मैग्नेट्रोन स्पटरिंग कोटिंग फिल्म निर्माण नियंत्रण प्रणाली विभिन्न तरीकों को अपना सकती है, जैसे निश्चित चढ़ाना समय, दृश्य निरीक्षण, चरम निगरानी और क्रिस्टल कंपन निगरानी। वैक्यूम कोटिंग मशीन और वैक्यूम कोटिंग मशीन कोटिंग विधियों को भी विभिन्न प्रक्रियाओं में विभाजित किया गया है। आमतौर पर उपयोग किए जाने वाले में आयन वाष्पीकरण कोटिंग और मैग्नेट्रोन स्पटरिंग कोटिंग शामिल हैं। मैग्नेट्रॉन स्पटरिंग द्वारा चढ़ाए गए फिल्म परत में मजबूत आसंजन और उच्च शुद्धता होती है, और एक ही समय में विभिन्न रचनाओं के साथ विभिन्न सामग्रियों को स्पटर कर सकती है।
