मैग्नेट्रॉन स्पटरिंग उपकरण मुख्य रूप से निम्नलिखित भागों से बना है:
1। लक्ष्य सामग्री: मैग्नेट्रॉन स्पटरिंग उपकरणों का मुख्य घटक, आमतौर पर धातु, मिश्र धातु और अन्य सामग्रियों से बना होता है।
2। वैक्यूम चैंबर: मैग्नेट्रॉन स्पटरिंग उपकरणों के ऑपरेटिंग वातावरण को उच्च वैक्यूम स्थितियों के तहत किया जाना चाहिए, और वैक्यूम चैंबर वैक्यूम को बनाए रखने की भूमिका निभाता है।
3। मैग्नेट्रॉन सिस्टम: चुंबकीय क्षेत्र का उपयोग लक्ष्य सामग्री की सतह पर आयन बमबारी को नियंत्रित करने के लिए किया जाता है ताकि स्पटरिंग का कारण बन सके।
4। सब्सट्रेट फ्रेम: संसाधित होने के लिए सब्सट्रेट सामग्री का समर्थन करने के लिए उपयोग किया जाता है।
5। हीटिंग सिस्टम: कुछ मामलों में, स्पटरिंग प्रक्रिया को नियंत्रित करने के लिए लक्ष्य सामग्री और सब्सट्रेट को गर्म करने की आवश्यकता होती है।
