यद्यपि कई प्रकार के आयन स्रोत हैं, उनका उद्देश्य अनिवार्य रूप से एक ही है: ऑनलाइन सफाई, प्लेटेड सतह पर ऊर्जा वितरण में सुधार, और प्रतिक्रियाशील गैस की ऊर्जा को नियंत्रित करना। आयन स्रोत फिल्म और सब्सट्रेट के बीच संबंध शक्ति में काफी सुधार कर सकते हैं, साथ ही फिल्म की कठोरता और घिसाव और संक्षारण प्रतिरोध में भी सुधार कर सकते हैं। उपकरण घिसाव प्रतिरोधी परतों के लिए, जो आम तौर पर मोटी होती हैं और फिल्म की मोटाई में उच्च एकरूपता की आवश्यकता नहीं होती है, उच्च आयन धारा और ऊर्जा स्तर वाले आयन स्रोत, जैसे हॉल आयन स्रोत या एनोलाइट आयन स्रोत, का उपयोग किया जा सकता है।
एनोडिक आयन स्रोत हॉल आयन स्रोतों के समान सिद्धांत पर काम करते हैं। एक संकीर्ण कुंडलाकार (आयताकार या गोलाकार) स्लिट के भीतर एक मजबूत चुंबकीय क्षेत्र लगाया जाता है, जो एनोड के प्रभाव में कार्यशील गैस को आयनित करता है और इसे वर्कपीस की ओर निर्देशित करता है। एनोडिक आयन स्रोतों को बहुत बड़ा और लंबा बनाया जा सकता है, जो उन्हें वास्तुशिल्प ग्लास जैसे बड़े वर्कपीस को कोटिंग करने के लिए विशेष रूप से उपयुक्त बनाता है। वे अपेक्षाकृत बड़ी आयन धारा भी प्रदान करते हैं। हालाँकि, उनका आयन प्रवाह अधिक फैला हुआ है, और ऊर्जा स्तर वितरण बहुत व्यापक है। वे आम तौर पर बड़े वर्कपीस, कांच, अपघर्षक सतहों और सजावटी घटकों के लिए उपयुक्त होते हैं। हालाँकि, उन्नत ऑप्टिकल कोटिंग्स में उनका अनुप्रयोग व्यापक नहीं है।
यद्यपि कई प्रकार के आयन स्रोत हैं, उनका उद्देश्य अनिवार्य रूप से एक ही है: ऑनलाइन सफाई, प्लेटेड सतह पर ऊर्जा वितरण में सुधार, और प्रतिक्रियाशील गैस की ऊर्जा को नियंत्रित करना। आयन स्रोत फिल्म और सब्सट्रेट के बीच संबंध शक्ति में काफी सुधार कर सकते हैं, साथ ही फिल्म की कठोरता और घिसाव और संक्षारण प्रतिरोध में भी सुधार कर सकते हैं। उपकरण घिसाव प्रतिरोधी परतों के लिए, जो आम तौर पर मोटी होती हैं और फिल्म की मोटाई में उच्च एकरूपता की आवश्यकता नहीं होती है, उच्च आयन धारा और ऊर्जा स्तर वाले आयन स्रोत, जैसे हॉल आयन स्रोत या एनोलाइट आयन स्रोत, का उपयोग किया जा सकता है।
एनोडिक आयन स्रोत हॉल आयन स्रोतों के समान सिद्धांत पर काम करते हैं। एक संकीर्ण कुंडलाकार (आयताकार या गोलाकार) स्लिट के भीतर एक मजबूत चुंबकीय क्षेत्र लगाया जाता है, जो एनोड के प्रभाव में कार्यशील गैस को आयनित करता है और इसे वर्कपीस की ओर निर्देशित करता है। एनोडिक आयन स्रोतों को बहुत बड़ा और लंबा बनाया जा सकता है, जो उन्हें वास्तुशिल्प ग्लास जैसे बड़े वर्कपीस को कोटिंग करने के लिए विशेष रूप से उपयुक्त बनाता है। वे अपेक्षाकृत बड़ी आयन धारा भी प्रदान करते हैं। हालाँकि, उनका आयन प्रवाह अधिक फैला हुआ है, और ऊर्जा स्तर वितरण बहुत व्यापक है। वे आम तौर पर बड़े वर्कपीस, कांच, अपघर्षक सतहों और सजावटी घटकों के लिए उपयुक्त होते हैं। हालाँकि, उन्नत ऑप्टिकल कोटिंग्स में उनका अनुप्रयोग व्यापक नहीं है।
ए में हॉल आयन स्रोतवैक्यूम कोटिंग मशीनएक मजबूत अक्षीय चुंबकीय क्षेत्र की सहायता से प्रक्रिया गैस को आयनित करता है। इस अक्षीय चुंबकीय क्षेत्र का मजबूत असंतुलन गैस आयनों को अलग करता है और एक आयन किरण बनाता है। अक्षीय चुंबकीय क्षेत्र की ताकत के कारण, हॉल आयन स्रोत आयन बीम को आयन प्रवाह को बेअसर करने के लिए अतिरिक्त इलेक्ट्रॉनों की आवश्यकता होती है। एक सामान्य न्यूट्रलाइजेशन स्रोत टंगस्टन फिलामेंट (कैथोड) है।
